Trifluorură de clor

De la Wikipedia, enciclopedia liberă
Jump to navigation Jump to search
Trifluorură de clor
Chlorine-trifluoride-3D-vdW.png
Nume IUPACTrifluoro-λ3-chlorane
Identificare
Număr CAS7790-91-2
PubChem CID24637
Informații generale
Formulă chimicăClF3
Masă molară91,964 u.a.m.[2]  Modificați la Wikidata
Proprietăți
Densitate1,77 g/cm³[3]  Modificați la Wikidata la 53 Fahrenheit
Starea de agregaregaz
Punct de topire-105 Fahrenheit[3]  Modificați la Wikidata
Punct de fierbere53 Fahrenheit[3]  Modificați la Wikidata la 760 Torr
Presiune de vapori1,4 Atmosferă fizică[3]  Modificați la Wikidata
NFPA 704

NFPA 704.svg

0
4
4
OS
Sunt folosite unitățile SI și condițiile de temperatură și presiune normale dacă nu s-a specificat altfel.

Trifluorura de clor este un compus inter-halogen cu formula chimică ClF3. Acest gaz incolor, otrăvitor, coroziv și extrem de reactiv se condensează la un lichid galben-verzui, forma în care este cel mai adesea vândut (presurizată la temperatura camerei). Compusul este în principal de interes ca o componentă a combustibililor pentru rachete, operațiunilor de curățare și gravare fără plasmă din industria semiconductorilor[4][5][6], în prelucrarea combustibilului din reactorul nuclear[7] și alte operațiuni industriale.

Note[modificare | modificare sursă]

  1. ^ „Trifluorură de clor”, CHLORINE TRIFLUORIDE (în engleză), PubChem, accesat în  
  2. ^ „Trifluorură de clor”, CHLORINE TRIFLUORIDE (în engleză), PubChem, accesat în  
  3. ^ a b c d http://www.cdc.gov/niosh/npg/npgd0117.html  Lipsește sau este vid: |title= (ajutor)
  4. ^ Hitoshi Habuka; Takahiro Sukenobu; Hideyuki Koda; Takashi Takeuchi; Masahiko Aihara (). „Silicon Etch Rate Using Chlorine Trifluoride”. Journal of the Electrochemical Society. 151 (11): G783–G787. doi:10.1149/1.1806391. (author ResearchGate link)
  5. ^ United States Patent 5849092 "Process for chlorine trifluoride chamber cleaning" Arhivat 2007-09-26 la Wayback Machine.
  6. ^ Habuka, Hitoshi. „Etching of Silicon Carbide Using Chlorine Trifluoride Gas”. doi:10.5772/50387. open access publication - free to read
  7. ^ Board on Environmental Studies and Toxicology, (BEST) (). Acute Exposure Guideline Levels for Selected Airborne Chemicals: Volume 5. Washington D.C.: National Academies Press. p. 40. ISBN 0-309-10358-4.  (available from National Academies Pressopen access publication - free to read)